年產(chǎn)50萬片功率半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目主要污染物及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析
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發(fā)表于：2025-08-01 14:36:55
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前言
本文詳細(xì)分析了功率半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目的主要污染物及其產(chǎn)生環(huán)節(jié)，包括廢氣、廢水和固體廢物等，并提供了相關(guān)表格數(shù)據(jù)。
詳情
1. 主要污染物及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析
1.1 廢氣污染物及產(chǎn)污環(huán)節(jié)
本項(xiàng)目產(chǎn)生的廢氣主要分為有機(jī)廢氣、酸堿廢氣和吹砂粉塵，此外還有污水處理惡臭和食堂新增油煙。
| 廢氣類型 | 主要污染物 | 產(chǎn)污環(huán)節(jié) | 治理措施 |
|---|---|---|---|
| 有機(jī)廢氣 | 非甲烷總烴、二甲苯等 | 芯片生產(chǎn)各工序（如光刻、腐蝕等）、食堂油煙 | 依托現(xiàn)有二級活性炭吸附裝置處理 |
| 酸堿廢氣 | 氯化氫、氟化物、硫酸霧、氮氧化物等 | 芯片生產(chǎn)中的清洗、腐蝕等工序 | 堿液噴淋塔處理 |
| 吹砂粉塵 | 顆粒物 | 吹砂工序 | 設(shè)備自帶布袋除塵器處理 |
| 污水處理惡臭 | 氨、硫化氫 | 污水處理站 | 加蓋密閉，空氣擴(kuò)散稀釋 |
1.2 廢水污染物及產(chǎn)污環(huán)節(jié)
本項(xiàng)目廢水主要為生產(chǎn)廢水、食堂廢水和員工生活污水、初期雨水。
| 廢水類型 | 主要污染物 | 產(chǎn)污環(huán)節(jié) | 治理措施 |
|---|---|---|---|
| 生產(chǎn)廢水 | pH值、COD、BOD?、SS、氨氮、總磷、陰離子表面活性劑、氟化物等 | 芯片生產(chǎn)各工序（如清洗、腐蝕等） | 廠區(qū)污水處理站（中和+沉淀工藝）處理后排入園區(qū)污水管網(wǎng) |
| 食堂廢水 | COD、BOD?、SS、氨氮、動(dòng)植物油等 | 食堂烹飪、清洗等 | 隔油池+化糞池處理 |
| 生活污水 | COD、BOD?、SS、氨氮等 | 員工日常生活 | 化糞池處理 |
| 初期雨水 | SS等 | 項(xiàng)目初期雨水 | 初期雨水池收集后進(jìn)入廠區(qū)污水處理站處理 |
1.3 固體廢物及產(chǎn)污環(huán)節(jié)
本項(xiàng)目產(chǎn)生的主要固體廢物包括工藝過程中產(chǎn)生的廢酸、廢堿、廢有機(jī)溶劑等危險(xiǎn)廢物，以及純水裝置產(chǎn)生的廢過濾材料、制氮系統(tǒng)產(chǎn)生的廢濾材和廢分子篩等一般固體廢物。
| 固體廢物類型 | 主要成分 | 產(chǎn)污環(huán)節(jié) | 處置方式 |
|---|---|---|---|
| 危險(xiǎn)廢物 | 廢酸、廢堿、廢有機(jī)溶劑等 | 芯片生產(chǎn)各工序（如清洗、腐蝕等） | 暫存于危險(xiǎn)廢物暫存間，定期交由相應(yīng)資質(zhì)單位處置 |
| 一般固體廢物 | 廢過濾材料、廢濾材、廢分子篩等 | 純水制備、制氮系統(tǒng)等 | 暫存于一般固體廢物暫存間，外售綜合利用或廠家回收 |
| 生活垃圾 | / | 員工日常生活 | 環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn) |
