精密設(shè)備能力提升項目主要原材料與輔料及物料平衡分析
[環(huán)境影響評價報告 - 資料分享]
發(fā)表于：2025-07-07 10:52:09
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前言
本文概述了項目所需的主要原材料與輔料，并詳細展示了物料平衡表，包括輸入輸出物質(zhì)的種類與數(shù)量，為項目環(huán)境影響評估提供了重要數(shù)據(jù)支持。
詳情
1. 主要原材料與輔料
本項目所需的主要原材料與輔料如下表所示：
| 名稱 | 單位 | 年用量 | 備注 |
|---|---|---|---|
| 精密MCVD設(shè)備 | 臺 | 新增3套 | |
| 四氯化硅 | kg | 43200 | 原料 |
| 氧氣 | m3 | 24000 | 原料 |
| 氦氣 | m3 | 18000 | 原料 |
| 氫氣 | m3 | 12000 | 原料 |
| 氯氣 | m3 | 1200 | 原料 |
| 四氟化碳 | kg | 200 | 原料 |
| 氘氣 | m3 | 240 | 原料 |
| 氙氣 | m3 | 240 | 原料 |
| 氟化氫銨 | kg | 300 | 原料 |
| 無水乙醇 | kg | 360 | 原料 |
| 丙酮 | kg | 39 | 原料 |
| 去離子水 | m3 | 480 | 原料 |
| 高純氬氣 | m3 | 3600 | 工藝氣體 |
| 高純氮氣 | m3 | 14400 | 工藝氣體 |
| 硼酸三異丙酯 | kg | 300 | 輔料 |
| 無水乙醚 | kg | 300 | 輔料 |
| 異丙醇 | kg | 600 | 輔料 |
| 高純氧氣 | m3 | 3600 | 輔料 |
2. 物料平衡表
物料平衡表詳細展示了項目中各元素的投入與產(chǎn)出情況，具體如下表所示：
| 元素平衡表 | 投入產(chǎn)出物質(zhì) | 用量（kg） | 氯元素含量（kg） | 類別 | 物質(zhì) | 氯元素含量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 氯元素平衡 | 四氯化硅 | 43200 | 34560 | 投入 | 廢氣（氯氣） | 1200 |
| 氯氣 | 3456 | 3456 | 產(chǎn)出 | 廢水 | 160 | |
| 氟元素平衡 | 四氟化碳 | 800 | 800 | 投入 | 廢氣（氟化物） | 10 |
| 氟化氫銨 | 1200 | 480 | 產(chǎn)出 | 廢水 | 870 |
