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1 總 則

1.0.1 為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，制定本規(guī)范。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計。資料下載_免費(fèi)下載_文庫

1.0.3 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。規(guī)劃綱要_工作報告_工程咨詢

1.0.4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測和安全運(yùn)行、維護(hù)管理創(chuàng)造必要的條件。免費(fèi)下載_十四五_文庫

1.0.5 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。資料庫_規(guī)劃綱要_模版下載

2 術(shù) 語

2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。可以是開放式或封閉式。統(tǒng)計公報_報告模板_工作報告

2.0.3 人員凈化用室 room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。資料下載_工程咨詢_模版下載

2.0.4 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。大牛工程師

2.0.5 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。模版下載_工作報告_資料庫

2.0.6 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。大牛工程師

2.0.7 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.8 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。工程咨詢_資料下載_工程資料

2.0.9 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。大牛工程師

2.0.10 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無生產(chǎn)人員。資料庫_資料共享_統(tǒng)計公報

2.0.11 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.12 氣流流型 air pattern
室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。模版下載_文庫_報告模板

2.0.13 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.14 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。文庫_模版下載_資料庫

2.0.15 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.16 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。資料共享_報告模板_模版下載

2.0.17 空氣吹淋室 airshower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。工程資料_模版下載_縣域經(jīng)濟(jì)

2.0.18 氣閘室 airlock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.19 傳遞窗 passbox
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。資料下載_十四五_統(tǒng)計公報

2.0.20 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。大牛工程師

2.0.21 高效空氣過濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99.95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。資料庫_資料共享_工作報告

2.0.22 超高效空氣過濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99.9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。大牛工程師

2.0.23 微環(huán)境 minienvironment
將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.24 風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組 fan filter unit(FFU)
由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起，構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.25 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級的時間。工程咨詢_文庫_工程資料

2.0.26 技術(shù)夾層 technical mezzanine
潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。資料庫_工程咨詢_報告模板

2.0.27 技術(shù)夾道 technical tunnel
潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。大牛工程師

2.0.28 技術(shù)豎井 technical shaft
潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.29 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.30 純水 pure water
雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。
GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.31 常用氣體 bulk gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤?、氦氣等氣體。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

2.0.32 特種氣體 special gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。模版下載_文庫_資料下載

2.0.33 化學(xué)品 chemical
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿、有機(jī)溶劑和氧化物等。
大牛工程師

2.0.34 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。工程咨詢_縣域經(jīng)濟(jì)_統(tǒng)計公報

2.0.35 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。大牛工程師

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求

4 總體設(shè)計

5 工藝設(shè)計

6 潔凈建筑設(shè)計

7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計

8 給水排水設(shè)計

9 純水供應(yīng)

10 氣體供應(yīng)

11 化學(xué)品供應(yīng)

12 電氣設(shè)計

13 防靜電與接地設(shè)計

14 噪聲控制

15 微振控制

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

十四五_縣域經(jīng)濟(jì)_報告模板

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例報告模板_工程資料_模版下載

大牛工程師

注 ① 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應(yīng)按丙類設(shè)防，否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。
② 屏錐加工車間中低熔點(diǎn)玻璃配制和低熔點(diǎn)玻璃涂復(fù)間面積超過本層或防火分區(qū)總面積5％時，生產(chǎn)類別應(yīng)為乙類設(shè)防。
③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑料時，該生產(chǎn)線應(yīng)為丙類。GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）

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附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證