GB 50073-2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 （完整版）
1 總則
1.0.1 為了使?jié)崈魪S房設(shè)計符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟適用、安全可靠，確保潔凈廠房設(shè)計質(zhì)量，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設(shè)計。
1.0.3 潔凈廠房設(shè)計應(yīng)是施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行的基礎(chǔ)。
1.0.4 潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定。
2 術(shù)語
2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 mobile clean booth
可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 particle size
給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particle
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 microparticle
具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air flow pattern
對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設(shè)計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
通過潔凈室（區(qū)）整個斷面的風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow
與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow
與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow
送入潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室（區(qū)）內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。
2.0.18 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.22 傳遞窗 pass box
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動力公用設(shè)施區(qū)接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的狀態(tài)。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
2.0.27 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。
2.0.28 已裝過濾器檢漏 installed filter system leakage test
為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室（區(qū)）的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。
2.0.29 高效空氣過濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
在額定風(fēng)量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9％以上的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)
在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999％以上的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
對電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 antistatic environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
在材料內(nèi)層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。
2.0.37 專用消防口 fire-fight access
消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 recovery time of cleanliness
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級所需的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological clean room
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria
懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria
降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。
2.0.42 U描述符 U descriptor
每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.43 M描述符 M descriptor
每立方米空氣中實測的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.44 工業(yè)管道 industrial pipe
潔凈廠房內(nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。
3 空氣潔凈度等級
3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應(yīng)按表3.0.1確定。
表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級
| 空氣潔凈度 等級(N) |
大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3) | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| 1 | 10 | 2 | — | — | — | — |
| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — |
| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — |
| 4 | 10 000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
| 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8320 | 293 |
| 7 | — | — | — | 352 000 | 83 200 | 2930 |
| 8 | — | — | — | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
| 9 | — | — | — | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。
2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計算：
式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)；
N——空氣潔凈度等級，數(shù)字不超過9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量；
D——要求的粒徑（μm）；
0.1——常數(shù)，其量綱為μm。
3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進行。
3.0.4 當(dāng)潔凈室（區(qū)）內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時，應(yīng)根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。
4 總體設(shè)計
5 建筑
6 空氣凈化
7 給水排水
8 工業(yè)管道
9 電氣
附錄A 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試和認證
附錄B 潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性分類舉例
附錄B 潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性分類舉例
表B 潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性分類舉例
| 生產(chǎn)類別 | 舉例 |
| 甲 | 微型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間 精密陀螺儀裝配的清洗間 磁帶涂布烘干工段 化工廠的丁酮、丙酮、環(huán)乙酮等易燃溶劑的物理提純工作間、光致抗蝕 劑的配制工作間 集成電路工廠使用閃點小于28℃的易燃液體的化學(xué)清洗間、外延間 常壓化學(xué)氣相沉積間和化學(xué)試劑貯存間 |
| 乙 | 膠片廠的洗印車間 |
| 丙 | 計算機房記錄數(shù)據(jù)的磁盤貯存間 顯像管廠裝配工段燒槍間 磁帶裝配工段 集成電路工廠的氧化、擴散間、光刻間 |
| 丁 | 液品顯示器件工廠的濺射間、彩膜檢驗間 光纖預(yù)制棒的MCVD、OVD沉淀間，火拋光、芯棒燒縮及拉伸間、拉纖間 彩色熒光粉廠的藍粉、綠粉、紅粉制造間 |
| 戊 | 半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的切片間、磨片間、拋光間 光纖、光纜工廠的光纖篩選、檢驗區(qū) |
附錄C 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計對維護管理的要求
C.0.1 潔凈室的凈化空氣監(jiān)測頻數(shù)宜按表C.0.1的規(guī)定進行監(jiān)測。
表C.0.1 潔凈室的凈化空氣監(jiān)測頻數(shù)
| 空氣潔凈度等級 監(jiān)測項目 |
1～3 | 4、5 | 6 | 7 | 8、9 |
| 溫度 | 循環(huán)監(jiān)測 | 每班2次 | |||
| 濕度 | |||||
| 壓差值 | 每周1次 | 每月1次 | |||
| 潔凈度 | 每3個月1次 | 每6個月1次 | |||
C.0.2 當(dāng)出現(xiàn)下列任何一種情況時，應(yīng)更換高效空氣過濾器：
1 氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過濾器后，氣流速度仍不能增大。
2 高效空氣過濾器的阻力達到初阻力的1.5倍～2.0倍。
3 高效空氣過濾器出現(xiàn)無法修補的滲漏。
C.0.3 當(dāng)潔凈廠房內(nèi)采用高效真空吸塵器進行清掃時，應(yīng)定期檢查吸塵器排氣口的含塵濃度。
