（免費(fèi)下載）GB 51076-2015 電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范
1 總 則
1.0.1 為規(guī)范電子工業(yè)防微振工程的勘察、設(shè)計(jì)及施工質(zhì)量驗(yàn)收，確保滿(mǎn)足精密設(shè)備及儀器所容許的微振動(dòng)環(huán)境要求，并做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、運(yùn)行可靠及節(jié)約能源，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、改建的電子工業(yè)廠(chǎng)房、測(cè)試站(臺(tái))等工程的防微振設(shè)計(jì)、施工及質(zhì)量驗(yàn)收。
1.0.3 防微振工程設(shè)計(jì)、施工及質(zhì)量驗(yàn)收，除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
2 術(shù) 語(yǔ)
2.0.1 微振動(dòng) micro-vibration
影響精密設(shè)備及儀器正常運(yùn)行的振動(dòng)幅值較低的環(huán)境振動(dòng)。
2.0.2 容許振動(dòng)值 allowable value of vibration
保證精密設(shè)備及儀器能正常運(yùn)行的支承結(jié)構(gòu)處的最大振動(dòng)量值。
2.0.3 建筑結(jié)構(gòu)防微振體系 structural microvibration con-trol system
為保證精密設(shè)備及儀器正常運(yùn)行，對(duì)建筑結(jié)構(gòu)采取減弱環(huán)境振動(dòng)影響的綜合措施。
2.0.4 主動(dòng)隔振 active vibration isolation
為減小動(dòng)力設(shè)備產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)外界環(huán)境的影響而對(duì)其采取的隔振措施。
2.0.5 被動(dòng)隔振 passive vibration isolation
為減小環(huán)境振動(dòng)對(duì)精密設(shè)備及儀器的影響而對(duì)其采取的隔振措施。
2.0.6 主動(dòng)控制隔振裝置 active vibration isolating device
具有預(yù)先設(shè)置并通過(guò)自身反饋系統(tǒng)獲取信號(hào)，使隔振裝置實(shí)時(shí)施加反向作用而降低環(huán)境振動(dòng)影響，保證設(shè)備正常工作的裝置。
2.0.7 隔振器 vibration isolator
具有衰減振動(dòng)功能的支承元件。
2.0.8 隔振裝置 vibration isolation mounting
由隔振器、阻尼器、調(diào)節(jié)閥、控制器及信號(hào)處理器等組成的隔振組合體。
2.0.9 隔振系統(tǒng) vibration isolation system
由被隔振對(duì)象、臺(tái)板、隔振器或隔振裝置組成的系統(tǒng)。
2.0.10 振動(dòng)響應(yīng) vibration response
建筑結(jié)構(gòu)或隔振系統(tǒng)受振動(dòng)作用時(shí)，其輸出的振動(dòng)位移、振動(dòng)速度、振動(dòng)加速度等。
2.0.11 環(huán)境振動(dòng) environment vibration
建筑場(chǎng)地或建筑物在內(nèi)外各種振源影響下的振動(dòng)。
2.0.12 常時(shí)微動(dòng) usual environmental micro-vibration
無(wú)明確振源的場(chǎng)地或建筑物的微弱振動(dòng)。
2.0.13 防微振墻 microvibration isolation wall
在建筑結(jié)構(gòu)中設(shè)置的減弱振動(dòng)影響的墻體。
2.0.14 華夫板 waffle slab
垂直單向流潔凈室生產(chǎn)層現(xiàn)澆鋼筋混凝土多孔樓板。
2.0.15 防微振設(shè)計(jì) anti-microvibration design
為將環(huán)境振動(dòng)影響控制在精密設(shè)備及儀器容許振動(dòng)值范圍內(nèi)，在工程設(shè)計(jì)規(guī)劃、建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與隔振設(shè)計(jì)等方面采取的綜合措施。
2.0.16 防微振基臺(tái) anti-microvibration table
由臺(tái)板和支承結(jié)構(gòu)組成的有隔振作用的結(jié)構(gòu)體系，支承結(jié)構(gòu)可為建筑結(jié)構(gòu)或獨(dú)立設(shè)置的梁、板、柱及基礎(chǔ)，在臺(tái)板和支承結(jié)構(gòu)之間可安裝隔振器或隔振裝置。
3 基本規(guī)定
3.0.1 本規(guī)范所定義的微振動(dòng)應(yīng)為幅值不大于表3.0.1規(guī)定的限值的振動(dòng)。
表3.0.1 微振動(dòng)限值
| 微振動(dòng)物理量 | 振動(dòng)位移（μm） | 振動(dòng)速度（μm/s） | 振動(dòng)加速度（m/s2） |
| 頻域振動(dòng)幅值 |
≤0.50 | ≤50 | ≤2×10-1 |
| 時(shí)域振動(dòng)幅值 | ≤10 | ≤1000 | — |
3.0.2 防微振工程的勘察、設(shè)計(jì)、施工及安裝宜遵循下列程序：
1 確定精密設(shè)備及儀器的容許振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)；
2 場(chǎng)地工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察及地基動(dòng)力特性測(cè)試；
3 場(chǎng)地環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
4 場(chǎng)地綜合評(píng)估及場(chǎng)地選擇；
5 防微振工程設(shè)計(jì)方案論證；
6 防微振工程設(shè)計(jì)；
7 防微振工程施工及安裝；
8 工程主體建筑竣工，各類(lèi)設(shè)備尚未安裝時(shí)的建筑結(jié)構(gòu)動(dòng)力測(cè)試及分析；
9 動(dòng)力設(shè)備試運(yùn)行時(shí)的環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
10 試生產(chǎn)時(shí)的環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
11 防微振工程驗(yàn)收；
12 微振動(dòng)測(cè)試和分析應(yīng)符合本規(guī)范附錄A的規(guī)定。
3.0.3 區(qū)域規(guī)劃及廠(chǎng)區(qū)規(guī)劃設(shè)計(jì)時(shí)振源位置應(yīng)合理布置，振動(dòng)大的振源宜布置在區(qū)域邊緣或遠(yuǎn)離有防微振要求的建筑物。
3.0.4 建筑物內(nèi)的振源與精密設(shè)備及儀器應(yīng)分類(lèi)集中、分區(qū)布置，并應(yīng)相互遠(yuǎn)離。
3.0.5 防微振工程設(shè)計(jì)應(yīng)包括下列內(nèi)容：
1 建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)；
2 動(dòng)力設(shè)備及管道的隔振設(shè)計(jì)；
3 精密設(shè)備及儀器的隔振設(shè)計(jì)。
3.0.6 防微振工程的設(shè)計(jì)與施工質(zhì)量必須滿(mǎn)足精密設(shè)備及儀器的容許振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)。
