（免費(fèi)下載）GB 51076-2015 電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范
1 總 則
1.0.1 為規(guī)范電子工業(yè)防微振工程的勘察、設(shè)計及施工質(zhì)量驗(yàn)收，確保滿足精密設(shè)備及儀器所容許的微振動環(huán)境要求，并做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、運(yùn)行可靠及節(jié)約能源，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、改建的電子工業(yè)廠房、測試站(臺)等工程的防微振設(shè)計、施工及質(zhì)量驗(yàn)收。
1.0.3 防微振工程設(shè)計、施工及質(zhì)量驗(yàn)收，除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
2 術(shù) 語
2.0.1 微振動 micro-vibration
影響精密設(shè)備及儀器正常運(yùn)行的振動幅值較低的環(huán)境振動。
2.0.2 容許振動值 allowable value of vibration
保證精密設(shè)備及儀器能正常運(yùn)行的支承結(jié)構(gòu)處的最大振動量值。
2.0.3 建筑結(jié)構(gòu)防微振體系 structural microvibration con-trol system
為保證精密設(shè)備及儀器正常運(yùn)行，對建筑結(jié)構(gòu)采取減弱環(huán)境振動影響的綜合措施。
2.0.4 主動隔振 active vibration isolation
為減小動力設(shè)備產(chǎn)生的振動對外界環(huán)境的影響而對其采取的隔振措施。
2.0.5 被動隔振 passive vibration isolation
為減小環(huán)境振動對精密設(shè)備及儀器的影響而對其采取的隔振措施。
2.0.6 主動控制隔振裝置 active vibration isolating device
具有預(yù)先設(shè)置并通過自身反饋系統(tǒng)獲取信號，使隔振裝置實(shí)時施加反向作用而降低環(huán)境振動影響，保證設(shè)備正常工作的裝置。
2.0.7 隔振器 vibration isolator
具有衰減振動功能的支承元件。
2.0.8 隔振裝置 vibration isolation mounting
由隔振器、阻尼器、調(diào)節(jié)閥、控制器及信號處理器等組成的隔振組合體。
2.0.9 隔振系統(tǒng) vibration isolation system
由被隔振對象、臺板、隔振器或隔振裝置組成的系統(tǒng)。
2.0.10 振動響應(yīng) vibration response
建筑結(jié)構(gòu)或隔振系統(tǒng)受振動作用時，其輸出的振動位移、振動速度、振動加速度等。
2.0.11 環(huán)境振動 environment vibration
建筑場地或建筑物在內(nèi)外各種振源影響下的振動。
2.0.12 常時微動 usual environmental micro-vibration
無明確振源的場地或建筑物的微弱振動。
2.0.13 防微振墻 microvibration isolation wall
在建筑結(jié)構(gòu)中設(shè)置的減弱振動影響的墻體。
2.0.14 華夫板 waffle slab
垂直單向流潔凈室生產(chǎn)層現(xiàn)澆鋼筋混凝土多孔樓板。
2.0.15 防微振設(shè)計 anti-microvibration design
為將環(huán)境振動影響控制在精密設(shè)備及儀器容許振動值范圍內(nèi)，在工程設(shè)計規(guī)劃、建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計與隔振設(shè)計等方面采取的綜合措施。
2.0.16 防微振基臺 anti-microvibration table
由臺板和支承結(jié)構(gòu)組成的有隔振作用的結(jié)構(gòu)體系，支承結(jié)構(gòu)可為建筑結(jié)構(gòu)或獨(dú)立設(shè)置的梁、板、柱及基礎(chǔ)，在臺板和支承結(jié)構(gòu)之間可安裝隔振器或隔振裝置。
3 基本規(guī)定
3.0.1 本規(guī)范所定義的微振動應(yīng)為幅值不大于表3.0.1規(guī)定的限值的振動。
表3.0.1 微振動限值
| 微振動物理量 | 振動位移（μm） | 振動速度（μm/s） | 振動加速度（m/s2） |
| 頻域振動幅值 |
≤0.50 | ≤50 | ≤2×10-1 |
| 時域振動幅值 | ≤10 | ≤1000 | — |
3.0.2 防微振工程的勘察、設(shè)計、施工及安裝宜遵循下列程序：
1 確定精密設(shè)備及儀器的容許振動標(biāo)準(zhǔn)；
2 場地工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察及地基動力特性測試；
3 場地環(huán)境振動測試及分析；
4 場地綜合評估及場地選擇；
5 防微振工程設(shè)計方案論證；
6 防微振工程設(shè)計；
7 防微振工程施工及安裝；
8 工程主體建筑竣工，各類設(shè)備尚未安裝時的建筑結(jié)構(gòu)動力測試及分析；
9 動力設(shè)備試運(yùn)行時的環(huán)境振動測試及分析；
10 試生產(chǎn)時的環(huán)境振動測試及分析；
11 防微振工程驗(yàn)收；
12 微振動測試和分析應(yīng)符合本規(guī)范附錄A的規(guī)定。
3.0.3 區(qū)域規(guī)劃及廠區(qū)規(guī)劃設(shè)計時振源位置應(yīng)合理布置，振動大的振源宜布置在區(qū)域邊緣或遠(yuǎn)離有防微振要求的建筑物。
3.0.4 建筑物內(nèi)的振源與精密設(shè)備及儀器應(yīng)分類集中、分區(qū)布置，并應(yīng)相互遠(yuǎn)離。
3.0.5 防微振工程設(shè)計應(yīng)包括下列內(nèi)容：
1 建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計；
2 動力設(shè)備及管道的隔振設(shè)計；
3 精密設(shè)備及儀器的隔振設(shè)計。
3.0.6 防微振工程的設(shè)計與施工質(zhì)量必須滿足精密設(shè)備及儀器的容許振動標(biāo)準(zhǔn)。
